壓力傳感器的精度受哪些方面的影響
更新時(shí)間：2020-05-15 點(diǎn)擊次數：879次
多傳感器信息融合技術(shù)的基本原理就像人的大腦綜合處理信息的過(guò)程一樣，將各種傳感器進(jìn)行多層次、多空間的信息互補和優(yōu)化組合處理，zui終產(chǎn)生對觀(guān)測環(huán)境的一致性解釋。在這個(gè)過(guò)程中要充分地利用多源數據進(jìn)行合理支配與使用，而信息融合的*終目標則是基于各傳感器獲得的分離觀(guān)測信息，通過(guò)對信息多級別、多方面組合導出更多有用信息。這不僅是利用了多個(gè)傳感器相互協(xié)同操作的優(yōu)勢，而且也綜合處理了其它信息源的數據來(lái)提高整個(gè)傳感器系統的智能化。
壓力傳感器是使用的一種傳感器。傳統的傳感器以機械結構型的器件為主，以彈性元件的形變指示壓力，但這種結構尺寸大、質(zhì)量重，不能提供電學(xué)輸出。隨著(zhù)半導體技術(shù)的發(fā)展，半導體壓力傳感器也應運而生。其特點(diǎn)是體積小、質(zhì)量輕、準確度高、溫度特性好。特別是隨著(zhù)MEMS技術(shù)的發(fā)展，半導體傳感器向著(zhù)微型化發(fā)展，而且其功耗小、可靠性高。
壓力傳感器的精度受哪些方面的影響呢?其實(shí)造成傳感器誤差的因素有很多，下面我們注意說(shuō)四個(gè)無(wú)法避免的誤差，這是傳感器的初始誤差。
1.偏移量誤差：由于傳感器在整個(gè)壓力范圍內垂直偏移保持恒定，因此變換器擴散和激光調節修正的變化將產(chǎn)生偏移量誤差。
2.靈敏度誤差：產(chǎn)生誤差大小與壓力成正比。如果設備的靈敏度高于典型值，靈敏度誤差將是壓力的遞增函數。如果靈敏度低于典型值，那么靈敏度誤差將是壓力的遞減函數。該誤差的產(chǎn)生原因在于擴散過(guò)程的變化。
3.線(xiàn)性誤差：這是一個(gè)對傳感器初始誤差影響較小的因素，該誤差的產(chǎn)生原因在于硅片的物理非線(xiàn)性，但對于帶放大器的傳感器，還應包括放大器的非線(xiàn)性。線(xiàn)性誤差曲線(xiàn)可以是凹形曲線(xiàn)，也可以是凸形曲線(xiàn)稱(chēng)重傳感器。
4.滯后誤差：在大多數情形中，傳感器的滯后誤差*可以忽略不計，因為硅片具有很高的機械剛度。一般只需在壓力變化很大的情形中考慮滯后誤差。
傳感器的這個(gè)四個(gè)誤差是無(wú)法避免的，我們只能選擇高精度的生產(chǎn)設備，利用高新技術(shù)來(lái)降低這些誤差，還可以在出廠(chǎng)的時(shí)候進(jìn)行一點(diǎn)的誤差校準，盡zui大的可能來(lái)降低誤差以滿(mǎn)足客戶(hù)的需要。
